三次元（yuán）檢測的原理是將（jiāng）被測物體置於三坐標測量空間，可獲（huò）得被測物體上各測點的坐標位置，根據這些點的空間坐標值（zhí），經計算求出被測物體的幾何尺寸，形狀和位置。它可以測量被測物的同心度，平行度，平麵度，同軸度，位（wèi）置度，垂直度等幾何形位公差。
直線度：直（zhí）線度是表示零（líng）件上的直線要素實際形狀保持理想（xiǎng）直線的狀況。也就是通常所（suǒ）說（shuō）的平直程度。直線度公差是實際線（xiàn）對理（lǐ）想直線所允許的變（biàn）動（dòng）量。也就是在圖樣上所給定（dìng）的，用以限製實際線加工誤差所允（yǔn）許（xǔ）的變動範（fàn）圍（wéi）。
平麵度：平麵度是（shì）表示零件（jiàn）的平麵要素實際（jì）形狀，保持理想平麵的狀況。也就是通常所說的平整程度（dù）。平（píng）麵（miàn）度公差是實際表麵對（duì）平麵所允許的變動量。也就是在圖樣上給（gěi）定（dìng）的，用以（yǐ）限製實際表麵（miàn）加工誤（wù）差所允許的變動範圍。
圓度：圓度是表示零件上圓（yuán）的要素實際形狀，與（yǔ）其中心保（bǎo）持等距的情況。即（jí）通常所說的圓整程度。圓度公差是在同一截麵上，實際圓對理想圓所允許的變動量。也就是圖樣上給定的，用以限製實際圓的加工誤差所允許的變動範圍。
圓柱度：圓柱度是表示零件上圓柱麵外形（xíng）輪（lún）廓上的各點，對其軸線保（bǎo）持等距狀況。圓柱度公差是實際圓柱麵對理想圓柱麵所允（yǔn）許的變動量。也就是圖樣上給定（dìng）的，用以限製（zhì）實際圓柱麵加工誤差所允（yǔn）許的變動（dòng）範圍。
線輪廓度：線輪廓度是表示在零（líng）件的給（gěi）定平麵上，任意形狀的曲線，保持其理（lǐ）想形狀的狀（zhuàng）況。線輪廓（kuò）度公差是指非圓曲線（xiàn）的實際輪廓線（xiàn）的允許變動量（liàng）。也就是圖樣上給定的，用以限製實際曲線（xiàn）加工誤（wù）差所（suǒ）允許的變動（dòng）範圍。
麵輪廓度：麵（miàn）輪廓度是表示零件上的任意形狀的曲麵，保持其理想形狀的（de）狀況。麵輪廓度公差是（shì）指（zhǐ）非圓（yuán）曲麵的實（shí）際輪廓線，對理想輪廓麵的允許變動量。也就是圖樣上給定的，用以限製實際曲麵加工誤差的變動範圍。
平行度：平（píng）行度是表示零件上被測實際要素相對於基準保持等距離的狀況。也就是通常所說的保持平行的程度。平行度公差是：被（bèi）測要素的實（shí）際方向，與基準相平（píng）行（háng）的理想方向之間所允許的變動量。也就是圖樣上所給出的，用以限製被測（cè）實際要素偏（piān）離平（píng）行方向所允許的變動範圍。
垂直度：垂直度（dù）是表示零（líng）件上被測要素相對於（yú）基準要素，保持正確的90°夾角狀況。也就是通常所（suǒ）說的兩（liǎng）要素之間保持正交的程度。垂直度（dù）公差是：被測要素的實際方向，對於基準相垂直的理想方向之間，所允許的變動量（liàng）。也就是圖樣上給出的（de），用以限製（zhì）被測實際（jì）要素偏離垂直方向（xiàng），所允許（xǔ）的變動範圍。
傾斜度：傾斜度是表示零件上兩要素相對方向（xiàng）保持任意給定角度的正確（què）狀況。傾斜度公（gōng）差是：被測要（yào）素的實際方向，對於基準成任意給定角度的理想方向之間所允許的變動量。
對稱度：是表（biǎo）示零（líng）件上兩對稱中心要素（sù）保持在同一中（zhōng）心平麵內的狀態（tài）。對稱度公（gōng）差是：實際要素的對稱中心麵(或中心線、軸線)對（duì）理想對稱平麵所允許的變（biàn）動量。該理想對稱平麵（miàn）是指與基準對稱平麵(或中心線、軸線)共同的理想（xiǎng）平麵。
同軸度：同軸度是表示零件上被測軸線相對於（yú）基準（zhǔn）軸線，保（bǎo）持（chí）在同一直線上的狀況（kuàng）。也就是通常所說的共軸（zhóu）程度。同軸度公差是：被（bèi）測實際軸線相對於基準軸線所允許的（de）變動量。也就是圖樣上給出的（de），用以限製被測實際軸線偏離由基準軸線所確定的理想（xiǎng）位置所允許的變動範圍。
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