​三坐標測量儀（CMM，Coordinate Measuring Machine）是一種基於空間三維坐標測量原理的（de）高精度測量設備。它的主要組（zǔ）成部分包括主機、測頭係統和計算機控製係統。三坐標測量（liàng）儀維（wéi）修保養方法包括以下幾個（gè）步驟：
1、每天工作前清潔（jié）：使用幹淨（jìng）、不掉纖維的高支紗（shā）布浸透99％純度工業無水乙醇清潔空氣軸承導軌（guǐ）滑動通道的（de）所有（yǒu）裸露表麵，清潔工作台麵和用於校（xiào）準的探針頭和標準球表麵。每一周（zhōu）用酒精擦拭一次防塵罩下的氣浮軸承導（dǎo）軌麵，除去防塵罩上的灰塵。

2、觀察測（cè）量室內的溫度和濕度：保證其在廠家要求（qiú）的範圍內，做好（hǎo）每日溫濕（shī）度控製（zhì）圖記（jì）錄。在長時間沒有使用三坐標測量機（jī）時，在開機前應做好準備工作。

3、檢查機床氣源和供氣裝置：放水放油，定期清洗過濾器及油水分（fèn）離器。檢（jiǎn）查供氣裝置是否鬆動或損壞，測量機的外罩是否鬆動或（huò）損壞。

4、定期給光杆、絲杆、齒條上少量防鏽油。

5、開機前（qián）檢（jiǎn）查電源：配置穩壓電源，定期檢查接地（dì），接地電阻小於4歐姆。