三豐三次元輪廓儀有哪幾種不（bú）同測量方式？

　　​三豐三次元輪廓儀（3D 輪廓儀）是一種高精度測量儀（yí）器，主要用於檢測物體表麵的微觀和宏觀輪廓形（xíng）態、粗（cū）糙度、台階高度、曲率等三維幾何參（cān）數（shù），廣泛應用於（yú）精密製造、半導體（tǐ）、光學、汽車零部件等領域。其核心原理是通過光學或（huò）接觸式傳（chuán）感器掃描樣品表麵，將采（cǎi）集到的二維數據重構為三維形貌，從（cóng）而實現對表麵特征的定量分（fèn）析。
根據測量（liàng）方式的不同，常見類型包括：
1. 光學（xué）非接觸式輪廓儀
利用光的反射、幹涉或（huò）聚焦特性實現測量，無需接觸樣品，適合柔軟、易損或高精度表麵（如半導體晶圓（yuán）、光學鏡片）。
白光幹涉（shè）輪廓儀：通過白光幹涉條紋分析表麵高度，精度可達納米級，測量範（fàn）圍較大（微米到（dào）毫米級）。
激光共聚（jù）焦輪廓儀：激光聚焦於樣品表麵，通過掃描收集反（fǎn）射光強度，生成三維圖像，適合高分辨率測量（亞微米級）。
聚焦探測輪廓儀：通過檢測光斑聚焦位（wèi）置變化計（jì）算高（gāo）度，速（sù）度快，適合生產線（xiàn）在（zài）線檢測。
2. 接觸式輪廓儀
依靠探針（如金剛石針（zhēn）尖（jiān））與樣品表麵接觸，通過機（jī）械掃描記錄針尖位移，精度可達納米級，但可能劃傷樣品，適合硬質、耐磨（mó）表麵（如金（jīn）屬零件、模具）。
優勢：不受表麵光學（xué）特（tè）性影響（如深色、粗糙表麵）。
劣（liè）勢（shì）：測量速（sù）度較慢（màn），對軟質（zhì）材料不（bú）友好。