三次元儀器表麵粗糙度測（cè）量儀采用針描法原理的（de）表麵粗糙度測量（liàng）儀由傳感器、驅動（dòng）器、指零表、記錄器（qì）和電（diàn）感傳感器是輪（lún） 廓儀的主要部件之一，其工作原理是，在傳感器測杆的一端裝有金剛石（shí）觸針，觸針尖 端曲率半徑r很小，測量時將（jiāng）觸針搭在工件上，與被測表麵（miàn）垂直接觸，利用驅動器以一定的 速（sù）度拖動傳感（gǎn）器。
由於（yú）被測表麵輪廓峰穀起伏，觸狀在被測表麵滑行時，將產生上下移動。 此運（yùn）動經支（zhī）點使（shǐ）磁芯同步地上下運動，從而使包圍在磁芯外（wài）麵的兩個差動電感線圈的電感（gǎn）量發生變化。
傳感器的線圈與測量線路是直接接（jiē）入平（píng）衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失 去平衡，於是就輸出一個和觸針上下的位移量成（chéng）正比的信（xìn）號，經（jīng）電子裝置將這一微弱電量的變化放大（dà）、 相敏檢波（bō）後，獲得能表示（shì）觸針位移量大小和方向（xiàng）的信號。
此後，將信號分成三路：一路加到指（zhǐ）零表上， 以表示觸針的位置，一路輸至直（zhí）流功率放大器，放大後推動記錄器進行記錄；另一路經濾（lǜ）波和平均表放大 器放大（dà）之（zhī）後，進入積分計算器，進行積分計算，即可由指示表直接（jiē）讀出表麵（miàn）粗糙度Ra值。
傳統表（biǎo）麵粗糙度測量儀工作原理框圖指零（líng）表的作用反映鐵芯（xīn）在差動電感線圈中所處的位置。當鐵（tiě）芯處於差動電感線圈的中間位置（zhì）時，指零表指針指示出零位，即保證處於電感變化的線性範圍之內。
所以，在測量之前（qián），必須調整指零表，使其處於零位。噪聲濾波的目的在於剔除（chú）一些幹擾信號，如電氣元件的噪聲所引（yǐn）起的虛假信號。大量的測試表明，高（gāo）於400Hz的信號即不是被測表麵粗糙度所引的信號，必（bì）須從總信號中加以剔（tī）除。
所以噪聲濾波器是一（yī）種低通（tōng）(低頻能通過)濾波器，它使400Hz以下的低頻信號順利通（tōng）過，而（ér）將400Hz以上的高頻信號迅速衰減，從而達到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉（diào）距大於取樣長度的波度，因此它是一個高通（tōng）(高頻（pín）能通過)濾波（bō）器，使表麵粗糙度所引起的高頻(相（xiàng）對於波度引起的低頻而言)信號（hào）能自（zì）由通過。
經過噪聲濾波和波度濾波以後，剩下來的就是與被測表麵粗糙度成比（bǐ）例的信號，再經平均表放大器後，所輸出的電流I與被測表麵輪廓各點偏（piān）離中線的高度y的（de）絕對值成正比，然後經積分器完成的積計算，得出Ra值，由指零（líng）表顯示出來（lái）。
這種（zhǒng）儀器適用於測定0.02-10μm的Ra值，其中有少數型號的（de）儀器（qì）還可測定更小的（de）參數值，儀（yí）器配有各種附件，以適應平（píng）麵、內外圓柱麵（miàn）、圓錐麵、球麵（miàn）、曲麵、以及小孔、溝槽等形（xíng）狀的工件（jiàn）表麵（miàn）測量。測量迅速方便，測值精（jīng）度高。
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