三次元儀器之三次元測量儀一般區分為滾珠線性滑(huá)軌及氣浮滑軌兩種,滾(gǔn)珠線性滑軌的幹(gàn)涉及變形較大,比較少使用在大型機台(tái);現今的主流(liú)為氣浮滑軌,其原理為壓縮空氣在(zài)空氣軸(zhóu)承與軌道間形成一個幾微米 ( um ) 低摩(mó)擦力及低阻力(lì)的空氣層,也就是說空氣軸承會浮(fú)在(zài)軌道上,這時便可輕易移動。

傳動方式分手動、馬達傳動兩種。一般有三種機型區分:
1. 手動量測 直接(jiē)拉(lā)著Z軸或人工旋轉手輪來(lái)移動。
2. 電控量測 移動軸安裝馬達,利用搖杆或電子手輪來(lái)控製移(yí)動。
3. CNC ( DCC) 自動量測 移動軸均安裝伺服馬達,並利用(yòng)電控係統,在程式指令下可自動量測。